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HORIBA IR-400 用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪

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HORIBA IR-400 用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪
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HORIBA IR-400 用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪 简介

产品参数
产品品牌
HORIBA堀场
产品类型
质量流量计/控制器
可售卖地
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价格区间
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供货总量
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售后服务
完善
产品简介
IR-400 可在沉积过程中实时监测腔室清洗终点。通过优化清洗过程，IR-400 减少了清洗时间和气体用量。清洗气体用量减少会降低对腔室的损害，并增加所有系统部件的寿命。 多气体监测（支持 SiF4 和 CF4） (IR-422) 高灵敏度 气室加热功能最高可达 180℃ 多重显示 模拟/数字通信

HORIBA IR-400 用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪 详情介绍

功能/特点：
IR-400 实时终点监测的优势
减少腔室清洗时间
减少清洗气体使用量
可重复和可预测的清洗过程
延长腔室组件寿命

HORIBA IR-400 用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪产品规格

HORIBA IR-400 用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪参数

关于进佳仪器

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