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HORIBA MV-2000 系列混合注入系统液体汽化器介绍

HORIBA MV-2000 系列混合注入系统液体汽化器介绍

HORIBA MV-2000 系列液体汽化器，采用创新的螺旋流加热技术，专为高精度化学气相沉积和半导体制造领域设计。该系列产品能在低温条件下实现稳定的汽化，特别适合处理包括高介电常数（"High-k"）材料在内的各种敏感化学液体。

HORIBA MV-2000 系列混合注入系统液体汽化器主要特性

• 螺旋流加热技术：MV-2000 系列的核心技术特色之一，通过螺旋流动的加热方式，确保加热过程的均匀性和连续性，有效减少液体分解的风险，实现在较低温度下的稳定汽化。
• 高流量汽化能力：该系列汽化器设计满足大规模工业应用需求，提供高流量的汽化选项，以增强整体的工艺稳定性。
• 适用于易热解的液体源：MV-2000 不仅适用于传统的液体源，还能处理易于热解的化学物质，扩展了其在半导体制造中的应用范围。

HORIBA MV-2000 系列混合注入系统液体汽化器产品规格

• 型号：MV-2000
• 耐腐蚀材料：使用 SUS316L 和 PFA 材料，确保在处理具有侵蚀性的化学液体时的耐久性和安全性。
• 密封性能：采用 VCR 接头，提供严密的密封性能，有效防止任何外部污染。
• 工作温度范围：15-50°C，可在广泛的温度范围内稳定工作。
• 最大压力：1MPa（表压），确保在高压环境下的安全使用。

HORIBA MV-2000 系列混合注入系统液体汽化器应用领域

HORIBA MV-2000 系列液体汽化器适用于半导体制造、化学气相沉积以及其他需要精准控制化学反应的高科技产业。此外，该设备的高适应性和可靠性使其成为涉及高介电材料处理的理想选择。

HORIBA MV-2000 系列液体汽化器以其高效的性能和先进的技术，为化学气相沉积和半导体制造行业提供了一种高效且可靠的解决方案，有效支持行业的技术进步和生产效率的提升。