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HORIBA IR-400 用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪介绍

HORIBA IR-400 系列高级气体监测仪用于腔室清洗终点监测介绍

永盛彩票HORIBA IR-400 系列气体监测仪是一款专为半导体制造过程中的腔室清洗终点监测而设计的高性能设备。它通过实时监控沉积过程中的气体组成，优化清洗过程，减少清洗时间和气体消耗，从而提高生产效率并降低成本。

HORIBA IR-400 系列高级气体监测仪用于腔室清洗终点监测核心功能与特点

• 实时终点监测：IR-400 能够实时监测腔室清洗过程的终点，确保每次清洗都达到预定的清洁标准。
• 减少清洗时间与气体用量：通过精确控制清洗过程，IR-400 帮助减少必需的清洗时间及气体用量，进而减少生产成本。
• 增加腔室组件寿命：减少清洗过程中气体的使用不仅降低了对腔室的物理和化学损害，也有效延长了腔室内各组件的使用寿命。
• 多气体监测能力：IR-400 支持多种清洗气体，如 SiF4 和 CF4，增强了设备的适用性与灵活性。
• 气室加热功能：具备最高可达 180°C 的气室加热功能，保证在各种工作温度下的稳定性和效率。
• 高灵敏度监测：高灵敏度的检测系统确保监测结果的准确性，对气体浓度变化反应迅速。
• 通信接口丰富：提供模拟和数字通信选项，便于集成到现有的工控系统中，实现数据的即时传输和分析。

HORIBA IR-400 系列高级气体监测仪用于腔室清洗终点监测适用范围

HORIBA IR-400 系列非常适合在半导体生产线中使用，尤其适用于需要高精度和高效率腔室清洗的场合。通过这种先进的气体监测技术，可以大幅提高生产效率，降低运行成本，是半导体制造行业中不可或缺的关键设备。

总体而言，HORIBA IR-400 系列的推出，为半导体制造业提供了一个可靠、高效且成本效益显著的解决方案，以应对日益严峻的市场竞争和生产效率要求。