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日本HORIBA堀场质量流量控制器SEC-N100

日本HORIBA堀场质量流量控制器SEC-N100(SEC-N117MGM)

HORIBA，SEC-N100质量流量控制器(SEC-N117MGM)

日本HORIBA堀场质量流量控制器SEC-N100 简介

产品参数
产品品牌
HORIBA堀场
产品类型
质量流量计/控制器
可售卖地
面议
价格区间
面议
供货总量
面议
售后服务
完善
产品简介
日本HORIBA堀场质量流量控制器SEC-N100是一款高精度的数字式流量控制器，专为非芯片半导体制程设计，以适应各种工艺标准。该系列产品支持多种通信模式，包括数字式、模拟式、DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS和EtherCAT，确保与不同系统的兼容性。SEC-N100系列提供从10 SCCM到1000 SLM的广泛流量控制范围，能够在1秒内响应，精度达到±1.0%，适用于光伏制造、功能玻璃干法镀膜、药品制造及环境监测等多个领域。其可调节气体和量程选项，以及多种阀门类型的选择，使其成为多种高端制造过程中的优选设备。

日本HORIBA堀场质量流量控制器SEC-N100(SEC-N117MGM) 介绍

型号:SEC-N117MGM
精度:±1.0% S.P.(Flow rate>25% F.S.) ±0.25% F.S.(Flow rate≤25%F.S.)
量程:10SLM
输出:EtherCAT

日本HORIBA堀场质量流量控制器SEC-N100 详情介绍

SEC-N100质量流量控制器产品概述

HORIBA SEC-N100质量流量控制器专为非芯片半导体制程设计，以满足该行业逐步统一的制造标准。该系列产品凭借高度的适应性，能够满足多种制程规范的需求，提供精确的流量控制和高速响应性，是多种高端制造过程中的优选设备。

SEC-N100质量流量控制器通信与控制接口

SEC-N100系列支持多样的通讯模式，包括数字式和模拟式，及高级网络通信协议如DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS和EtherCAT。这些功能使其能够与不同的控制系统兼容，并提供灵活的配置选项。

SEC-N100质量流量控制器应用领域

  • 光伏制造：过程控制与现场测量
  • 功能玻璃干法镀膜：等离子体发射控制与过程气体监测
  • 药品制造：冷冻干燥设备的真空监测与控制
  • 环境监测：对PM2.5的精确测量
  • 光纤生产：流程气体质量流量控制
  • 实验室研究与测试：实验室用气体质量流量控制

SEC-N100质量流量控制器产品特性

  • 多模式通信兼容性：包括RS-485、DeviceNet、Profibus和模拟（电流/电压）接口，确保与其他系统的无缝整合。
  • 可调节气体和量程：用户可便捷地根据需求更改气体类型和流量范围，提高设备的适用性和灵活性。
  • 高精度流量控制：精度达到±1.0%的设定流量，采用与SEC-Z500系列相同的高级sensor和bypass技术，确保流量控制的准确性。
  • 快速响应时间：响应时间不超过1秒，在可控流量范围内提供快速调节，内置PID参数可用于优化响应时间。
  • 阀门选项：提供电磁阀（至50SLM）和压电陶瓷阀（100/200SLM）选择，适用于不同的流量需求。
  • 材质与设计：提供橡胶或金属密封圈，未经抛光处理的气路表面，以及仅VCR接口的设计，满足RoHS环保要求。

日本HORIBA堀场质量流量控制器SEC-N100产品规格

日本HORIBA堀场质量流量控制器SEC-N100参数

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